標準的な不活性ガスパッケージには、手動のオン/オフバルブ、圧力計、流量計が含まれています。アドバンスドイナートガスパッケージには、プログラムセグメントで作動する電動バルブが追加されています。
複数のガスパッケージを同時に使用することができます。複数のガスパッケージを組み合わせて使用することが可能で、ユーザーがそれらを固定して組み合わせたアセンブリを作ることができます。
製品の温度調節器がEPC3016P1またはCC-T1の場合、最大2つの高度不活性ガスパッケージを組み合わせることができます。
製品の温度調節器がEPC3008P10またはナノダックの場合、最大で3つの高度な不活性ガスパッケージを組み合わせることができます。
ガスと流量レンジ
gas | 流量範囲 |
空気 | 1-10 l/min |
窒素 N2 | 1-10 l/min |
argon Ar | 1-8 l/min |
95% N2 / 5% H2 | 1.2-11 l/min |
98% Ar / 2% H2 | 1-9 l/min |
二酸化炭素 CO2 | 1-8.5 l/min |
ヘリウム He | 2-20 l/min |