管状炉用ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプは、複数の高速ローターの間にステーターを配置しています。その回転速度は毎分約9万回転。プレバキュームポンプと組み合わせることで、高真空以上の真空度を得ることができます。
ターボ分子ポンプは、高真空・超高真空用のポンプの中でも最も使いやすく、頻繁に使用されています。ターボ分子ポンプは、炭化水素などの重くて遅い粒子を容易に除去することができるため、炉内の大気純度が非常に高くなります。
Carbolite Gero管状炉用の真空ポンプパッケージは、真空ポンプ、不活性ガス用流量計、真空計、真空タイトバルブ、高速パージ用バイパス、ガス出口バルブ、安全過圧バルブで構成されています。
炉の作業管の高さと真空ポンプの互換性を確保するために、適切な真空ポンプパッケージを選択する必要があります。真空ポンプパッケージと作業管真空パッケージを組み合わせることで、水平管状炉のための完全なソリューションを提供します。
カーボライト・ジェロでは、管状炉用に2種類の真空ポンプを用意しています。低温、清浄、乾燥、空の炉では、ロータリーベーンポンプオプションは5 x 10-2mbarの真空レベルに達することができ、ターボポンプオプションは同じ条件で1 x 10-5mbarに達することができます。
ターボ分子ポンプは、複数の高速ローターの間にステーターを配置しています。その回転速度は毎分約9万回転。プレバキュームポンプと組み合わせることで、高真空以上の真空度を得ることができます。
ターボ分子ポンプは、高真空・超高真空用のポンプの中でも最も使いやすく、頻繁に使用されています。ターボ分子ポンプは、炭化水素などの重くて遅い粒子を容易に除去することができるため、炉内の大気純度が非常に高くなります。
ロータリーベーンポンプは予備真空ポンプであり、最も頻繁に使用されるポンプである。このポンプは、放射状の可動式プラグを介して、毎分約1,500回転の回転速度で大気圧を直接排気するために使用されます。ポンプの真空室にはオイルが塗られています。
