真空チャンバー炉, セラミックファイバー材断熱 - HTK KE

HTK KE炉タイプのチャンバー炉はセラミックファイバーで断熱されています。

フロントドア付きの長方形のデザインで、搬入・搬出が容易です。HTKシリーズには最大で6種類のサイズがあります。8リットルと25リットルの容量を持つ最小のデザインは、一般的に研究開発を行う研究所で採用されています。80 リットル、220 リットル、400 リットル、600 リットルの炉は、主にパイロット製造システムや大規模生産に使用されます。

炉は、規定の酸素混合ガスまたは100%純酸素で使用できます。発熱体はCrFeAlで最高温度は1350 °C、またはMoSi2で最高温度は1800 °Cです。不活性ガスを使用することも可能ですが、雰囲気の質が悪いことを考慮する必要があります。断熱材が多孔質であるため、真空動作は短時間の大まかな真空範囲に限定されます。

標準仕様

• 必要に応じて水素分圧運転も可能です。
• HTK KEの空気中または100%酸素での動作
• 粉体加熱の為に真空ポンプの排気速度を正確に制御できます。
• 品質管理用データ記録

HTK KEの内部を見る

1. フレーム
2. 水冷式容器
3. 加熱カセット
4. 密閉用の溝
5. フロントドア
6. 黒鉛断熱材

炉内では、底面、左面、右面、上面に発熱体が配置されており、温度の均一性を高めています。大容量の場合は、後壁と前面にも発熱体を配置し、優れた温度均一性を維持します。HTK W、HTK MO、HTK GR および HTK KE 炉は水冷式の容器で囲まれているため、HTK システムはコールドウォール炉に分類されます。冷却水は二重壁の容器内に導かれます。