金属フード炉(HBO)は、達成可能な最も低い動作圧力を発生させます。真空機能により、最高純度のガス雰囲気が得られます。
構造に使用される材料は、最高温度で最も低い蒸気圧になるように選択されています。発熱体や断熱材を傷つけることなく、最高温度での熱処理が可能。断熱のための放射線シールドは発熱体と同じ材料で作られており、繊維状の断熱材は使用されていません。
HBO炉には、モリブデン製の発熱体と輻射シールドを使用した1600℃までの使用に適したものと、タングステン製の発熱体と輻射シールドを使用した2200℃までの使用に適したものの2種類がある。
窒素ガス、アルゴンガス、水素ガスは、混合ガスまたは純ガスで使用できます。ご要望に応じて追加ガスの導入も可能です。10~1000mbarの範囲で、わずかな過圧または制御された分圧を得ることができます。分圧により、炉内のガス流量を一定に保つことができます。
完全な金属製の設計により、HBO内の最終的な真空レベルは高真空領域に達し、5 x 10-6 mbarよりも優れています。必要な真空度に応じて、異なるポンプステーションで真空を供給します。ご要望に応じて、超高真空オプションもご利用いただけます。ガスは、様々な投与装置と制御装置によって制御されます。3つの加熱ゾーンのそれぞれの温度は、最高の均一性を維持するために個別に制御されます。
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HBOフード炉の内部の様子
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